阿斯麦EUV光刻机达成纳米孔全晶圆级制备，助力分子传感技术进步

12月22日消息，比利时微电子研究中心（IMEC）借助阿斯麦（ASML）的最先进极紫外光刻（EUV）设备，顺利完成了纳米孔的全晶圆级制造。阿斯麦公司公关负责人把这一成果形容为自家设备“在生物医学领域一项令人意外的出色应用”。考虑到纳米孔能为分子传感技术带来广阔的发展空间，此次突破或许会成为该领域的关键进展。

据IT之家所知，纳米孔的特性在生物医学领域有着极高的研究价值。从名称就能推测出，纳米孔其实是一种微小的通道，其直径只有几纳米。要是用更易懂的说法来解释：这种通道的直径大概相当于人类头发丝直径的万分之一。

这样微小的孔道能派上什么用场呢？依据分子和纳米孔之间的相互作用机制，它可以用于生物医学传感器的研发。纳米孔检测技术的核心原理具体如下：

对通过纳米孔的离子电流进行测量；

当分子通过孔道时，会引发电流出现波动，这种波动的特征能够体现出分子的大小、结构、电荷特性以及相互作用的形式。

凭借这种独一无二的电信号特性，我们便能够以高灵敏度辨别不同种类的分子。

通过这样的方式，借助极紫外光刻技术制作而成的纳米孔，能够成为生物医学传感领域的“分子关卡”，从而完成对病毒、蛋白质、脱氧核糖核酸（DNA）等单个分子的检测和识别工作。这一特点对于分子的精准鉴别与分析来说，有着极为关键的意义。另外，比利时微电子研究中心提到，对固态纳米孔的大小进行调整，还可以拓宽它在过滤技术以及分子数据存储领域的应用范围。

为什么要引入极紫外光刻设备呢？目前已有的纳米孔制备手段普遍存在制备速度迟缓、只能在实验室条件下进行、耗费成本过高等不足。不过，比利时微电子研究中心发表的论文显示，他们已经顺利在完整的300毫米晶圆上，制作出直径最小约为10纳米且均匀性出色的纳米孔。这一同时具备量产能力、高精准度和可重复特性的重大进展，很可能会打破纳米孔传感器技术长期无法实现实际应用的僵局。